Technical Info

 

Technical Review

 

Technical Library

 

½ÅÁ¦Ç° ½Å±â¼úÁ¤º¸

 

±â¼ú¹ý·É°ú Á¤Ã¥

 

ÀüÀÚ»ê¾÷Á¤º¸ ¸µÅ©

±â¼úÀÚ·á¾È³»

 

±â¼úÀü¹®¼­ & ÀÚ·á

 

PDF ±â¼úÀÚ·á¾È³»

 

¿ù°£ ÀüÀÚºÎÇ°

 

Embedded Word

 

¿ù°£ ÀÎÅÍÆäÀ̽º

 

¿ù°£ Æ®·£Áö½ºÅͱâ¼ú

½Ç¹«±â¼ú°­ÁÂ

 

ÀüÀÚºÎÇ°ÀÇ ±âÃÊ

 

°íÁÖÆÄȸ·Î ±âÃÊ

 

ÀÓº£µðµå ½Ã½ºÅÛ

 

ÄÁÆ®·Ñ·¯ PIC ±âÃÊ

 

¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ID Ä«µå

 

PCB µðÀÚÀÎ ÈùÆ®

 

ÀüÀÚȸ·Î ¾ÆÀ̵ð¾î

 

Technical Notes

ÀÚ·á½Åû¾È³»

¿¹Á¤ÀÚ·á¾È³»

¸ÅÁøÀÚ·á¾È³»

±â¼úÁ¤º¸³ª´®ÅÍ

ȸ¿øµî·Ï(¹«·á)

 

 

Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °í¼Ó·°íÁ¤¹Ðµµ ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏ ¹¦È­±â¼ú


ÀÚ·áÁýÇÊ: ±¹Á¦Å×Å©³ëÁ¤º¸¿¬±¸¼Ò

¼­ ·Ð 

¿À´Ã³¯ Á¤º¸»çȸ¸¦ À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â ÇÙ½É ±â¹Ý±â¼úÀÇ Çϳª·Î ¹ÝµµÃ¼ ÁýÀûȸ·Î(LSI)ÀÇ ¹Ì¼¼È­ ±â¼úÀÌ ÀÖ´Ù. LSI Á¦ÀÛ °øÁ¤ ÆÐÅÏ È帧À» ³ªÅ¸³»¸é ±×¸² 1°ú °°ÀÌ µÈ´Ù. ¼³°èµÈ ȸ·Î ÆÐÅÏÀº ¿ì¼± ¸¶½ºÅ©¶ó ºÒ¸®´Â ±âÆÇ¿¡ Çü¼ºµÈ´Ù. ´ÙÀ½¿¡ ÀÌ ¸¶½ºÅ©¸¦ ¿øÆÇÀ¸·Î ½ºÅ×ÆÛ¶ó°í ºÒ¸®´Â Àü»çÀåÄ¡¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿þÀÌÆÛ»ó¿¡ ÆÐÅÏÀ» Ãà¼Ò Àü»çÇÑ´Ù. Áï, ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏÀÌ ±âÁØÀÌ µÇ¾î ȸ·Î°¡ Çü¼ºµÈ´Ù. µû¶ó¼­, ¸¶½ºÅ©»óÀÇ È¸·Î ÆÐÅÏ Çü¼º¿¡´Â ¿ÏÀü¼ºÀÌ ¿ä±¸µÇ¹Ç·Î, ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏ Çü¼º±â¼úÀº LSI Á¦ÀÛÀÇ ¿­¼è¸¦ Áã°í ÀÖ´Ù°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¸¶½ºÅ©»ó¿¡ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â ¹æ¹ý¿¡´Â ÀüÀÚºö ¹¦È­ÀåÄ¡¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ý°ú ·¹ÀÌÀú ¹¦È­ÀåÄ¡¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ ÀÖ´Ù. ¹Ì¼¼È­¸¦ À̲ø¾î°¡´Â ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏ Çü¼º¿¡´Â ÇØ»ó¼ºÀÌ ¶Ù¾î³­ ÀüÀÚ°¡ ÀÌ¿ëµÈ´Ù.
º»°í¿¡¼­´Â 25³â ÀÌ»ó ÀüÀÚºö ¹¦È­±â¼úÀÇ ¿¬±¸°³¹ß¿¡ Àü³äÇØ ¿Â (ÁÖ)´ºÇ÷¹¾îÅ×Å©³î·¯Áö»ç¿Í µµ½Ã¹Ù»ç°¡ °øµ¿ °³¹ßÇÑ ¹¦È­ÀåÄ¡¿Í Â÷¼¼´ë¸¦ ÁöÇâÇÑ ±â¼ú°³¹ß¿¡ ´ëÇØ ¼Ò°³ÇÑ´Ù.

·Îµå ¸ÊÀÇ Ä³Ä¡¾÷°ú °¡¼Ó

¿þÀÌÆÛ»óÀÇ ÆÐÅÏÄ¡¼ö°¡ 250nm(1nm=100¸¸ºÐÀÇ 1mm) ÀÌÇÏ·Î µÇ¸é, ½ºÅ×ÆÛÀÇ ÇØ»ó ÇÑ°è·Î ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏÀ» Àü»çÇÏ´Â Çʿ伺 ¶§¹®¿¡, ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏÀÇ ¿ÀÂ÷°¡ Àü»ç ¼º´É¿¡ Å©°Ô ¿µÇâÀ» ÁÖ°í ÀÖ¾ú´Ù(95³â ¹«·Æ). ±× ¶§¹®¿¡, ¸¶½ºÅ©ÀÇ ÆÐÅÏÀº ±× ´ç½ÃºÎÅÍ ±Þ°ÝÇÏ°Ô °íÁ¤¹ÐÈ­°¡ ¿ä±¸µÇ¾ú´Ù. 94³âÆÇÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ·Îµå ¸ÊÁß¿¡¼­ ¸¶½ºÅ©¿¡ ¿ä±¸µÈ Á¤¹ÐµµÀÇ ÀϷʸ¦ Ç¥ 1(a)¿¡ ³ªÅ¸³½´Ù. ¿¹¸¦ µé¸é, 130nm ¼¼´ë´Â 2004³â¿¡ ´Þ¼ºµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµÇ¸ç, ÆÐÅÏÄ¡¼öÀÇ ±ÕÀϼºÀº 13nm°¡ ¿ä±¸µÇÁö¸¸, ½ÇÇöÀÌ °ï¶õÇÏ´Ù´Â ÀÌÀ¯·Î, 20nm°¡ ¸ñÇ¥À̾ú´Ù. À§Ä¡ Á¤¹Ðµµ¿¡´Â 26nm°¡ ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ¾ú´Ù.
¿ä±¸ Á¤¹Ðµµ¸¦ ´Þ¼ºÇÏ°í, ¶ÇÇÑ ½Ç¿ëÀûÀÎ ¹¦È­¼Óµµ¸¦ ¾ò±â À§ÇØ, °¢Á¾ Break through ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿© ½Ç¿ëÈ­Çß´Ù. 99³â ÀÌÈÄ¿¡ ½ÃÆÇµÈ ÀüÀÚºö ¸¶½ºÅ© ¹¦È­ÀåÄ¡´Â ÀÌÇÏ ¾ð±ÞÇÏ´Â Break through ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ Á¤¹Ðµµ¸¦ ÀÚ¶ûÇÏ°í ÀÖ´Ù. 99³âÆÇÀÇ ·Îµå ¸Ê(Ç¥ 1(b))¿¡¼­ ³ªÅ¸³½ ¼º´ÉÀ» ¸¸Á·½ÃÅ°¸ç, ¿ÏÀüÇÏ°Ô ¿ä±¸ Á¤¹Ðµµ¸¦ catch-upÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù°í »ý°¢ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±× ÈÄ, ÀåÄ¡¸¦ °è¼Ó °³·®ÇÔÀ¸·Î½á 2001³âÆÇÀÇ ·Îµå ¸Ê(Ç¥ 1(c))ÀÇ °¡¼Ó¿¡ ¿ÏÀüÇÏ°Ô ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. µ¿½Ã¿¡ Á¾·¡¿¡¼­´Â °ï¶õÇÏ´Ù°í ¿©°ÜÁø ¼º´É(Àû»ö°ú Ȳ»öÀ¸·Î Ç¥½Ã)µµ ±â¼úÀûÀ¸·Î °¡´ÉÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù´Â °ÍÀ» ³ªÅ¸³»°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼úÀÌ ·Îµå ¸ÊÀ» ¹Ù²Û ¼ÀÀÌ´Ù. ÇöÀç, ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ÀÇ Á¦ÀÛ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¸¶½ºÅ©ÀÇ ´ëºÎºÐÀÌ ÀÌ ÀåÄ¡·Î ¹¦È­µÇ°í ÀÖ´Ù.

°í¼Ó·°íÁ¤¹Ðµµ ÆÐÅÏ ¹¦È­±â¼ú

ÀÌ È¸»çÀÇ ÀüÀÚºö ¸¶½ºÅ© ¹¦È­ÀåÄ¡ ¹× °¡º¯¼ºÇüºö(VSB) ¹¦È­¹æ½ÄÀ» ±×¸² 2(a), (b)¿¡ ³ªÅ¸³½´Ù. ÀüÀÚºöÀ» S1, S2 ¾ÖÆÛó(aperture)¸¦ ÅëÇØ »ç°¢Çü ¶Ç´Â »ï°¢ÇüÀ¸·Î ¼ºÇüÇÏ¿© ¸¶½ºÅ© ±âÆÇ»óÀÇ ¼ÒÁ¤ÀÇ À§Ä¡¿¡ Áý±¤ÇÏ°í, ÀÌ°ÍÀ» °í¼ÓÀ¸·Î ON/OFF½ÃÄÑ ÀÓÀÇÀÇ ÆÐÅÏÀ» ¹¦È­ÇÑ´Ù. ÀÌ ¹æ½Ä¿¡¼­´Â Á¾·¡ÀÇ È¯ºö ¹æ½Ä¿¡ ºñÇØ °í¼Ó¹¦È­°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. °Ô´Ù°¡, ºöÀÇ °í¼Ó·°íÁ¤¹Ðµµ ÆíÇâÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â ÆíÇâ ¾ÚÇÁ¸¦ °³¹ßÇß´Ù. À̵鿡 ÀÇÇØ °í¼Ó ¹¦È­°¡ °¡´ÉÇØÁø °ÍÀÌ Ã¹Â° ±â¼ú Æ÷ÀÎÆ®ÀÌ´Ù.

´ÙÀ½¿¡, ÆÐÅÏÀ» °íÁ¤¹ÐÈ­Çϱâ À§ÇØ, ¸¶½ºÅ© ±âÆdz»ºÎ·ÎºÎÅÍÀÇ ¹Ý»çÀüÀÚÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î Ä¡¼ö°¡ º¯È­ÇÏ´Â ±ÙÁ¢È¿°ú¸¦ ¸®¾óŸÀÓÀ¸·Î º¸Á¤ÇÏ´Â ±â¼ú, ¹Ý»çÀüÀÚÀÇ ÀåÄ¡³»¿¡¼­ Àç¹Ý»ç¸¦ Àú°¨½ÃÅ°´Â ±â¼ú, Áß·Â ¿Ö°î ÀÌ¿ÜÀÇ Àϱ׷¯ÁüÀ» ÀüÇô »ý±âÁö ¾Êµµ·Ï ÇÏ´Â ¸¶½ºÅ© À¯Áö±â¼ú, öÀúÇÑ ³ëÀÌÁî Àú°¨°ú, ¿ÂµµÁ¦¾î µîÀÇ ±â¼ú, ±×¸®°í, ÀüÀÚºöÀÇ µå¸®ÇÁÆ® Àú°¨±â¼ú°ú °íÁ¤¹ÐµµÀÇ ÀüÀÚºö Á¦¾î±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿© ¾ÈÁ¤È­¿Í °íÁ¤¹ÐÈ­¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù. ÀÌ°ÍÀÌ µÎ ¹ø° ±â¼ú Æ÷ÀÎÆ®ÀÌ´Ù.
¶Ç, ¹¦È­ ÇÁ·Î¼¼½º¿Í ´Ù¸¥ ÇÁ·Î¼¼½º°£ÀÇ ÀÎÅÍÆäÀ̽º°¡ µÇ´Â ¹Ý¼Û°è¿¡¼­´Â ¸¶½ºÅ©¿¡ ÆÄƼŬÀÌ ºÎÂøµÇÁö ¾Êµµ·Ï ¿©·¯ °¡Áö ±¸Á¶¿Í ±â±¸¸¦ °³¹ßÇÏ¿©, ÀÌ°Í¿¡ ÀÇÇØ ÆÐÅÏ»óÀÇ °áÇÔ ¹ß»ýÀ» Àú°¨½ÃÄ×´Ù.
´õ±¸³ª, ¹¦È­ µ¥ÀÌÅÍÀÇ µ¥ÀÌÅÍ·® Áõ´ë¿¡ ´ëÀÀÇÑ ´ë±Ô¸ð µ¥ÀÌÅÍó¸® ȸ·Î±â¼ú, ³ëÀÌÁî¿¡ ´ëÇÑ ·Î¹ö½ºÆ®¼ºÀ» ³ôÀΠȸ·Î±â¼ú°ú, ÀåÄ¡¼³Ä¡ ȯ°æÀÇ Á¤¹Ðµµ¿¡ ´ëÇÑ ¿µÇâÀ» ¾ïÁ¦ÇÏ´Â ³»È¯°æ±â¼ú, 0.001¡É ÀÌÇÏÀÇ ¿ÂµµÁ¦¾î°¡ °¡´ÉÇÑ ½ºÅ×ÀÌÁö ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿©, Àå±â ¾ÈÁ¤È­¿¡ ´ëÀÀ½ÃÄ×´Ù. ÀÌ°ÍÀÌ ¼¼ ¹ø° ±â¼ú Æ÷ÀÎÆ®ÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼ú°³¹ß¿¡ ÀÇÇØ, 100nm ¼¼´ë±îÁöÀÇ ¸¶½ºÅ© ¹¦È­°¡ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î »ý°¢ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Â÷¼¼´ëÀÇ °í¼Ó ¸¶½ºÅ© ¹¦È­±â¼ú

(ÁÖ)´ºÇ÷¹¾îÅ×Å©³î·¯Áö¿Í µµ½Ã¹Ù»ç¿¡¼­´Â ´õ¿í ¹Ì¼¼ÇÑ 70nm ¼¼´ë ÀÌÈÄ¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¿ä¼Ò±â¼ú °³¹ßÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¹Ì¼¼È­°¡ ÁøÇàµÊ¿¡ µû¶ó ¹¦È­½ÃÀÇ ¼îÆ®¼ö´Â Å« ÆøÀ¸·Î Áõ´ëÇÏ¿©, ÀÌ °á°ú ¹¦È­½Ã°£ÀÌ ¸Å¿ì ±æ¾îÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ÀÌ ¹®Á¦¸¦ ÇؼÒÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÇ Çϳª·Î °í¾ÈÇÏ¿© ¿¬±¸°¡ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Â °ÍÀÌ "EB(ÀüÀÚºö) ¸¶½ºÅ©½ºÄµ ¹¦È­¹æ½Ä"ÀÌ´Ù. ±×¸² 2(c)¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, °°Àº ÆÐÅÏÀÇ ¹¦È­ ¿ä¼Ò¸¦ ¹Ì¸® Á¤Çصΰí, ÀÌ ºÎºÐÀº Àü»ç¿¡ ÀÇÇØ ÆÐÅÏÀ» ¹¦È­ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. ÀÌ ¹æ½Ä¿¡¼­´Â º¹¼öÀÇ Àü»ç¿ë °³±¸¸¦ Çü¼ºÇÑ EB ¸¶½ºÅ©¸¦ S2 ¾ÖÆÛóÀÇ À§Ä¡¿¡ ¹èÄ¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. Àü»ç¿ë °³±¸ÀÇ ¼±Åà ¹üÀ§¸¦ ³ÐÈ÷±â À§ÇØ, EB ¸¶½ºÅ©´Â ½ºÅ×ÀÌÁö ±â±¸¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© À̵¿ °¡´ÉÇϵµ·Ï µÇ¾î ÀÖ´Ù. Àü»ç¿ë °³±¸»óÀ» ÀüÀÚºöÀ» ½ºÄµÇÏ¿© ¸¶½ºÅ© ±âÆÇ»ó¿¡ ÆÐÅÏÀ» Àü»çÇÔÀ¸·Î½á Àü»ç ÆÐÅÏÀÇ ´ëÇüÈ­¿Í VSB ¹æ½Ä°úÀÇ º´¿ëÀÌ °¡´ÉÇØÁø´Ù. ÀÌ ¹æ½ÄÀÇ Ã¤¿ëÀ¸·Î, ´ëÆøÀûÀÎ ¹¦È­½Ã°£À» ´ÜÃàÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î »ý°¢ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¹Ì ¿¬±¸¿ëÀÇ ½ÃÁ¦±â°¡ ¿Ï¼ºµÇ¾î Æò°¡¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ È¸»ç´Â ÀÌ¿Í °°ÀÌ, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Á¦ÀÛ¿¡ À־ ¿­¼è°¡ µÇ´Â ¸¶½ºÅ©ÀÇ Á¦ÀÛ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÀüÀÚºö ¹¦È­±â¼úÀ» Á¦°øÇÏ¿©, ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
 

 

Copyright © 1998 ±¹Á¦Å×Å©³ëÁ¤º¸¿¬±¸¼Ò- All Rights Reserved.
ÀúÀÛ±ÇÀº ±¹Á¦Å×Å©³ëÁ¤º¸¿¬±¸¼Ò¿Í ÄÁÅÙÃ÷ Á¦°øÀÚ¿¡°Ô ÀÖÀ¸¸ç, ¹«´Üº¹Á¦¸¦ ÀÏü ±ÝÇÕ´Ï´Ù.