Technical Info

 

Technical Review

 

Technical Library

 

½ÅÁ¦Ç° ½Å±â¼úÁ¤º¸

 

±â¼ú¹ý·É°ú Á¤Ã¥

 

ÀüÀÚ»ê¾÷Á¤º¸ ¸µÅ©

±â¼úÀÚ·á¾È³»

 

±â¼úÀü¹®¼­ & ÀÚ·á

 

PDF ±â¼úÀÚ·á¾È³»

 

¿ù°£ ÀüÀÚºÎÇ°

 

Embedded Word

 

¿ù°£ ÀÎÅÍÆäÀ̽º

 

¿ù°£ Æ®·£Áö½ºÅͱâ¼ú

½Ç¹«±â¼ú°­ÁÂ

 

ÀüÀÚºÎÇ°ÀÇ ±âÃÊ

 

°íÁÖÆÄȸ·Î ±âÃÊ

 

ÀÓº£µðµå ½Ã½ºÅÛ

 

ÄÁÆ®·Ñ·¯ PIC ±âÃÊ

 

¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ ID Ä«µå

 

PCB µðÀÚÀÎ ÈùÆ®

 

ÀüÀÚȸ·Î ¾ÆÀ̵ð¾î

 

Technical Notes

ÀÚ·á½Åû¾È³»

¿¹Á¤ÀÚ·á¾È³»

¸ÅÁøÀÚ·á¾È³»

±â¼úÁ¤º¸³ª´®ÅÍ

ȸ¿øµî·Ï(¹«·á)

 

 

¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀÇ °í¹Ðµµ 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼ú


ÀÚ·áÁýÇÊ/Á¦°ø: ±¹Á¦Å×Å©³ëÁ¤º¸¿¬±¸¼Ò
°ü·ÃÀÚ·á¾È³»: CCD Ä«¸Þ¶ó¿Í ¿µ»óó¸®È¸·Î ¼³°è
°í¹Ðµµ ½ÇÀå±â¼ú ÀÔ¹®

¼­ ·Ð

ÃÖ±ÙÀÇ °í¼Ó·°í¹Ðµµ ½ÇÀå±â¼úÀº ºñ¾àÀûÀ¸·Î ¹ßÀüÇÏ¿©, ƯÈ÷ ¹Î¼ö¿ëÀÇ ÈÞ´ëÀüÀÚ±â±â¿¡¼­´Â °í¼º´ÉÈ­¸¦ ½ÇÇöÇÏ´Â Çʼö ±â¼ú·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù. ´õ±¸³ª, Àå·¡ÀÇ »ê¾÷±â°£À¸·Î ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î¸Ó½Å ±â¼úºÐ¾ß¿¡¼­µµ °í¼Ó·°í¹Ðµµ ½ÇÀå±â¼úÀº ½Ã½ºÅÛÀÇ °í±â´ÉÈ­¸¦ ½ÇÇöÇÏ´Â ±â¹Ý±â¼ú·Î¼­ ¸¹Àº ¿¬±¸°³¹ßÀÌ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù.
º»°í´Â ÀϺ»Åë»ó»ê¾÷¼º °ø¾÷±â¼ú¿ø »ê¾÷°úÇбâ¼ú°³¹ßÁ¦µµ¿¡ ±Ù°ÅÇÑ ¡¸¸¶ÀÌÅ©·Î¸Ó½Å ±â¼úÀÇ ¿¬±¸°³¹ß¡¹¿¡ À־, ±×¸² 1¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹ßÀü½Ã¼³ÀÇ 10mm¥õ ¹è°ü ³»ºÎ¸¦ ¹«¼± À̵¿ÇÏ´Â °Ë»ç ·Îº¿ ¡¸°ü³» ÀÚÁÖȯ°æ ÀνĽýºÅÛ¡¹ÀÇ ³¡¿¡ žÀçµÇ´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀ» µµ½Ã¹Ù»ç ¸ÖƼ¹Ìµð¾î°³¹ß¼¾ÅÍÀÇ ±â¼úÀڷḦ ÅëÇØ ±× ³»¿ªÀ» ¼Ò°³ÇÑ´Ù.

ÀÌ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀº ±×¸² 2¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, ÃÊÁ¡Á¶Àý ±â±¸¿Í ½Ã¼±º¯°æ±â±¸¸¦ °®Ãß°í È£½ºÆ®ÄÄÇ»ÅÍ¿Í ¹«¼±Åë½ÅÇÏ´Â °í±â´ÉÀÇ ÃʼÒÇü CCD Ä«¸Þ¶ó ½Ã½ºÅÛÀ̹ǷÎ, žÀçµÇ´Â µð¹ÙÀ̽º´Â ´Ù¹æ¸é¿¡ °ÉÃÄ ÀÖ´Ù. ƯÈ÷, È£½ºÆ®ÄÄÇ»ÅÍ¿¡ CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£¸¦ ¹«¼±Àü¼ÛÇÏ´Â ½ÅÈ£Àü¼Ûȸ·Î¿Í È£½ºÆ®ÄÄÇ»ÅͷκÎÅÍ CCD¸¦ ±¸µ¿½ÃÅ°´Â ½ÅÈ£Á¦¾îȸ·Î´Â ´ë±Ô¸ð·Î µÈ´Ù. µû¶ó¼­, ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛ ³»ºÎÀÇ ÇÑÁ¤µÈ ¹Ì¼Ò°ø°£¿¡ ÀÌµé µð¹ÙÀ̽º¸¦ žÀçÇÏ·Á¸é Áö±Ý±îÁöÀÇ ½ÇÀå±â¼ú¿¡¼­´Â ¹°¸®Àû ÇÑ°è°¡ À־, ½Å±Ô °í¹Ðµµ ½ÇÀå±â¼úÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù.

Áö±Ý±îÁö ¿¬±¸ÆÀ¿¡¼­´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀÇ ¹Ì¼Ò °ø°£¿µ¿ª¿¡ À־ ½Å±Ô °í¹Ðµµ ½ÇÀå±â¼ú·Î¼­ÀÇ 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼úÀ» Á¦¾ÈÇÏ¿©, ±× À¯È¿¼ºÀ» Á¢¼ÓÀúÇ× Æò°¡ µð¹ÙÀ̽º¸¦ žÀçÇÑ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ ½ÃÁ¦Æò°¡·Î °ËÁõÇØ ¿Ô´Ù. ±×·¯³ª, 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀº ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀ¸·Î¼­ÀÇ µ¿ÀÛ µð¹ÙÀ̽º¸¦ žÀçÇÑ °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¸ç, ´õ±¸³ª Ãø¸éÀü±ØÀÌ µÇ´Â ÀûÃþ±âÆÇ ³¡ºÎºÐÀÇ È¸·Î¹è¼±¿¡ ´ëÇؼ­µµ Àü±Ø´ÜÀڷμ­ ÃÖÀû ¼³°èµÈ °ÍÀº ¾Æ´Ï¾ú´Ù. µû¶ó¼­, ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀ» ½ÇÇöÇÏ´Â °í¹Ðµµ ½ÇÀå±â¼ú·Î¼­ÀÇ 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼úÀÇ À¯È¿¼ºÀº ÃæºÐÈ÷ Æò°¡ µÇÁö ¾Ê¾Æ, µ¿ÀÛ µð¹ÙÀ̽º¸¦ žÀçÇÏ´Â ÃÖÀû ¼³°èµÈ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï¿¡¼­ À¯È¿¼ºÀÇ °ËÁõÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ°í ÀÖ¾ú´Ù.
º» ¿¬±¸¿¡¼­´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀÇ CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£ Àü¼Ûȸ·Î¿Í CCD ±¸µ¿½ÅÈ£ Á¦¾îȸ·Î¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â µ¿ÀÛ µð¹ÙÀ̽º¸¦ žÀçÇÑ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ» ½ÃÁ¦ÇÑ °á°ú¿Í, Cu-filled stacked via¸¦ ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇÀÇ ÄÚ¾î±âÆÇ ³¡ºÎºÐ¿¡ Á÷Á¢ ¹èÄ¡ÇÏ´Â ÃÖÀû ¼³°è¿¡ ÀÇÇØ ³ôÀº Á¾È¾ºñÀÇ Ãø¸éÀü±ØÀ» ½ÇÇöÇÑ 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼úÀÇ À¯È¿¼ºÀ» Æò°¡ÇÑ °á°ú¿¡ ´ëÇØ º¸°íÇÑ´Ù.

¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛ

±×¸² 3Àº ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀÇ CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£ Àü¼Ûȸ·Î¿Í CCD ±¸µ¿½ÅÈ£ Á¦¾îȸ·Î¸¦ Á¤¸®ÇÑ È¸·Î ºí·ÏµµÀÌ´Ù. CCD(Charge Couplcd Device)·ÎºÎÅÍÀÇ ÀüÇϽÅÈ£´Â ³ëÀÌÁî Àú°¨È¸·ÎÀÇ »ó°üÀÌÁß »ùÇøµÈ¸·Î CDS(Correlated Double Sampling Circuit)¸¦ Åë°úÇÑ ÈÄ, A/D(Analog/Digital) ȸ·Î¿¡¼­ µðÁöÅÐ ½ÅÈ£·Î º¯È¯µÇ¾î CCD ½ÅÈ£Á¦¾î G/A(Gate Array)·Î Àü¼ÛµÈ´Ù.
°Ô´Ù°¡, CCD ½ÅÈ£Á¦¾îȸ·Î G/A¿¡¼­ ÀÛ¼ºÇÑ ¼öÆòµ¿±â½ÅÈ£¿Í ¼öÁ÷µ¿±â½ÅÈ£´Â °¢°¢ CCD¿¡ Àü¼ÛµÈ´Ù. ÀÌ CCD ½ÅÈ£Á¦¾îȸ·Î G/A¿¡¼­ ÀÛ¼ºÇÏ´Â ¸¶½ºÅÍ Å¬·Ï½ÅÈ£´Â °ü³» ÀÚÁÖȯ°æ ÀνĽýºÅÛÀÇ Åë½Åȸ·Î G/A·ÎºÎÅÍ °ø±ÞµÇ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù. µû¶ó¼­, CCD·ÎºÎÅÍÀÇ ÃÔ»ó½ÅÈ£ Ãâ·ÂÁֱⰡ È£½ºÆ®ÄÄÇ»ÅÍÀÇ Åë½Å µ¥ÀÌÅÍ·¹ÀÌÆ®¿Í Á¤ÇյǾî Àֱ⠶§¹®¿¡ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀº È£½ºÆ®ÄÄÇ»ÅÍ¿Í ¾ÈÁ¤µÈ Åë½ÅÀ» ÇÒ ¼ö Àִ Ư¡À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
Ç¥ 1Àº ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛ ÃÔ»ó½Åȣȸ·Î¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â ÁÖ¿ä µð¹ÙÀ̽º »ç¾çÀ» Á¤¸®ÇÑ °ÍÀÌ´Ù. žÀçÇÏ´Â µð¹ÙÀ̽º´Â ¿¡³ÊÁö °ø±Þ·®ÀÌ ÇÑÁ¤µÈ¡¸°ü³» ÀÚÁÖȯ°æ ÀνĽýºÅÛ¡¹¿¡ ½ÇÀåÇÏ´Â °ÍÀ» °í·ÁÇÏ¿©, Àú¼ÒºñÀü·ÂÀÇ µð¹ÙÀ̽º ¼³°è·Î Çß´Ù. ¶ÇÇÑ, º» ¿¬±¸¿¡¼­ »ç¿ëÇÑ CCD´Â ¾à 10¸¸ È­¼ÒÀÇ ÀÎÅͶóÀÎ CCDÀÌ´Ù.

°í¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀå±â¼ú

¡á °í¹Ðµµ 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼ú
ÀüÀÚ±â±âÀÇ ¼ÒÇüÈ­¸¦ ½ÇÇöÇÏ´Â °í¹Ðµµ ½ÇÀå±â¼ú·Î¼­ ½Ã½ºÅÛ LSI¸¦ žÀçÇÏ´Â ¹æ¹ýµµ ÀÖÁö¸¸, ÀüÀÚ±â±â¿¡ žÀçÇÏ´Â ¸ðµç µð¹ÙÀ̽º¸¦ ½Ã½ºÅÛ LSI·Î ÇÏ´Â °ÍÀº Çö½ÇÀûÀ¸·Î ºÒ°¡´ÉÇϱ⠶§¹®¿¡, ÀüÀÚ±â±â¿¡´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¿ÜÇüÄ¡¼ö°¡ ´Ù¸¥ ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ µð¹ÙÀ̽º°¡ ½ÇÀåµÈ´Ù. ±×·±µ¥, Áö±Ý±îÁöÀÇ 3Â÷¿ø ½ÇÀå±â¼úÀº ¸Þ¸ð¸® LSI µî ¿ÜÇüÄ¡¼ö°¡ ÀÏÄ¡ÇÑ µ¿Á¾ µð¹ÙÀ̽º¸¦ ½ÇÀåÇÏ´Â ±â¼úÀÌ Áß½ÉÀ¸·Î, º» ¿¬±¸¿¡ À־ÀÇ GA, CDS/AD, V-driver µî, ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ ÀÌÁ¾ µð¹ÙÀ̽º¸¦ 3Â÷¿ø ½ÇÀåÇÏ´Â °ÍÀº ¾Æ´Ï¾ú´Ù. ´õ±¸³ª, Áö±Ý±îÁöÀÇ 3Â÷¿ø ½ÇÀå±â¼úÀº, ÀûÃþ±âÆÇ°£ÀÇ Àü±ØÁ¢¼ÓÀ¸·Î ÀûÃþ±âÆÇ¿¡ ½º·çȬÀ» Çü¼ºÇÏ¿© ¼Ö´õº¼(solder ball) Á¢¼ÓÀ» ÇÏ°í ÀÖÁö¸¸, 3Â÷¿ø ½ÇÀå±â¼ú¿¡¼­´Â ÀûÃþ±âÆǼö¸¦ Áõ°¡½Ãų¼ö·Ï ÀûÃþ±âÆÇ°£ÀÇ Àü±Ø Á¢¼Ó °³¼ö°¡ Áõ°¡Çϱ⠶§¹®¿¡ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀÇ CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£ Àü¼Ûȸ·Î¿Í CCD ±¸µ¿½ÅÈ£ Á¦¾îȸ·Î¿Í °°Àº LSI µð¹ÙÀ̽º¸¦ ¼­·Î Á¢¼ÓÇÏ´Â ¹è¼±¼ö°¡ ¸¹Àº ´ë±Ô¸ð ȸ·Î¿¡¼­´Â ±âÆÇ ºÐÇÒ¿¡ ÀÇÇÑ ½ÇÀ念¿ªÀÇ Áõ°¡°¡ ÀûÃþ¹æÇâÀÇ ½Ã½ºÅÛ ½ÇÀå¹Ðµµ¸¦ ¹Ý´ë·Î ÀúÇϽÃÅ°´Â ¿äÀÎÀÌ µÇ°í ÀÖ¾ú´Ù.

±×·¡¼­, CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£ Àü¼Ûȸ·Î¿Í CCD ±¸µ¿½ÅÈ£ Á¦¾îȸ·ÎÀÇ 3Â÷¿ø ½ÇÀå¿¡´Â ±×¸² 4¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹Ù¿Í °°Àº ÀÌÁ¾ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ °í¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀå°ú ÀûÃþ¹æÇ⠹輱¿µ¿ªÀÇ °í¹ÐµµÈ­¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ´Â 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼úÀ» Á¦¾ÈÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº Ãø¸éÀü±ØÀÌ µÇ´Â °í Á¾È¾ºñ ¹è¼±ÀÌ Çü¼ºµÈ ÀûÃþ±âÆÇ¿¡ ÀÌÁ¾ µð¹ÙÀ̽º¸¦ ½ÇÀåÇÔÀ¸·Î½á µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ÀûÃþÄ¡¼ö¸¦ ±Ô°ÝÈ­ÇÑ ÈÄ, ºí·ÏÈ­ÇÑ ÀûÃþ±âÆÇ ³¡ºÎºÐ¿¡ ³ëÃâ½ÃŲ °í Á¾È¾ºñ ȸ·Î¹è¼±À» Ãø¸éÀü±ØÀ¸·Î ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù. ºí·Ï Ãø¸éÀü±ØÀº ÀûÃþ¹æÇâÀ» Á¢¼ÓÇÏ´Â ¹è¼±±âÆÇ°ú ¹üÇÁÀü±ØÀ¸·Î Á¢¼ÓµÈ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº Áö±Ý±îÁö 3Â÷¿ø ½ÇÀå±â¼ú¿¡¼­ °úÁ¦·Î ¿©°ÜÁ® ¿Â ÀûÃþ¹æÇâÀÇ ¹è¼±¿µ¿ªÀ» ±Ã±ØÀûÀ¸·Î °í¹ÐµµÈ­ÇÒ ÀÖ´Â È¿°úÀûÀÎ ½ÇÀå ¹æ¹ýÀÌ´Ù.

¡á °í¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï
±×¸² 5´Â ±×¸² 4¿¡ ³ªÅ¸³½ °í¹Ðµµ 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀåÀ» ½ÇÇöÇÏ´Â 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ ¼³°è¿¡ ´ëÇÑ °³·«µµÀÌ´Ù. ±×¸² 3¿¡ ³ªÅ¸³½ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛ È¸·Î ºí·ÏµµÀÇ LSI µð¹ÙÀ̽º(GA, V-driver, CDS/AD) ºÎºÐÀ» 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ¸·Î ±¸¼ºÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±¸Ã¼ÀûÀ¸·Î´Â Ç¥ 1¿¡ ³ªÅ¸³½ CCD ÀÌ¿ÜÀÇ LSI µð¹ÙÀ̽º¿Í ¼öµ¿ Ĩ ºÎÇ°À» žÀçÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±×¸² 5¿¡ ³ªÅ¸³½ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ Àüü Ä¡¼ö(5.2mm×4.4mm×11.5mm)´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀÇ ÄÉÀ̽º ³»Á¢ Ä¡¼ö·ÎºÎÅÍ ±¸Çß´Ù. ±×¸² 5¿¡ À־, ¾Æ³¯·Î±× ½Åȣȸ·Î¿Í µðÁöÅÐ ½Åȣȸ·ÎÀÇ È¥ÀçÇÏ´Â CDS/AD°è´Â µðÁöÅÐ ½Åȣȸ·Î¸¸À» °®´Â GA, V-driver°è¿Í´Â ºÐ¸®ÇÏ¿© CDS/AD ÀûÃþ±âÆÇÀÇ GNDÃþ°ú GA, V-driver ÀûÃþ±âÆÇÀÇ GNDÃþÀ¸·Î ¿¡¿ö½ÓÀ¸·Î½á È£½ºÆ®ÄÄÇ»ÅÍ¿Í ¹«¼±Åë½ÅÇÏ´Â ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ¿Í ·¹ÀÌÀúÀÇ ¿µÇâÀ» ¹ÞÁö ¾Ê´Â ¼³°è·Î Çß´Ù. ¶ÇÇÑ, ÀÌ GNDÃþÀº GA, CDS/AD, V-driver·ÎºÎÅÍÀÇ ¿­À» ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛÀÇ ÄÉÀ̽º¿¡ ¹æ¿­ÇÏ´Â °æ·ÎÀÇ ¿ªÇÒµµ ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ´õ±¸³ª, GA, V-driver ÀûÃþ±âÆÇÀº Ãø¸éÀü±ØÀ¸·Î¼­ ¹èÄ¡µÇ´Â I/O¼ö°¡ ¸¹±â ¶§¹®¿¡ ÀûÃþ±âÆÇ ¾ç¸é¿¡ Ãø¸éÀü±ØÀ» ¹èÄ¡ÇÔÀ¸·Î½á 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï Ãø¸éÀü±ØÀ» 300¥ìm ÇÇÄ¡±îÁö ¿ÏÈ­ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

°í¹Ðµµ 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼úÀÇ ¼³°è

¡á 3Â÷¿ø ÀûÃþ±âÆÇÀÇ °³¿ä
¹è°ü ³»ºÎ¸¦ ¹«¼± À̵¿Çϴ¡¸°ü³» ÀÚÁÖȯ°æ ÀνĽýºÅÛ¡¹ÀÇ ÃÑÁß·®À» °æ°¨Çϱâ À§ÇØ, 3Â÷¿ø ÀûÃþ±âÆÇ¿¡´Â À¯¸® ¿¡Æø½Ã ±âÆÇÀ» ÄÚ¾î±âÆÇÀ¸·Î ÇÑ build-up ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇÀ» »ç¿ëÇß´Ù. ±×¸² 6Àº ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇÀÇ ¼³°è °³¿äÀÌ´Ù. ÀûÃþÄ¡¼ö¸¦ ÁÙÀ̱â À§ÇØ 0.45mmÀÇ ÄÚ¾î±âÆÇ»ó¿¡ ¹è¼± 6ÃþÀ» 0.1mm·Î ¾ç¸é ºôµå¾÷ Çü¼ºÇÏ¿© ±âÆǵβ² 0.65mm¸¦ ½ÇÇöÇß´Ù. ±×¸®°í, ºôµå¾÷ ¹è¼±ÃþÀº Line/Space=50¥ìm/70¥ìm·Î ÇÏ¿© ÀûÃþ±âÆÇÀÇ °í¹ÐµµÈ­¿Í ¹Ì¼¼ Çø³Ä¨(flip chip) ½ÇÀåÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô Çß´Ù. ÀÌ ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇ¿¡´Â Via on PTH(Plated Through Hole), Stacked Via µîÀÇ °í¹Ðµµ ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇÀ» ½ÇÇöÇϴ ÷´Ü ¿ä¼Ò±â¼úÀÌ µµÀԵǰí ÀÖ´Ù. ƯÈ÷, ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇ»ó¿¡ Å¾ÀçÇÏ´Â LSI µð¹ÙÀ̽º(GA, CDS/AD, V-driver)ÀÇ ¹üÇÁÀü±Ø¿¡´Â ÀϹÝÀûÀÎ ¹üÇÁÀü±Ø°ú´Â ´Ù¸¥ ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇÀÇ CuÀü±Ø(¿ÜÃþ Àü±Ø) µÎ²²¿Í ´ëĪ¼ºÀ» °í·ÁÇÑ Cu ÄÚ¾îÇü ¹üÇÁÀü±ØÀ» ÀÌ¿ëÇß´Ù. ÀÌ Cu ÄÚ¾îÇü ¹üÇÁÀü±ØÀº ÀÀ·Â º¯ÇüÀÇ ¿ÏÈ­ Çؼ®°ú Cu ÄÚ¾îÀÇ ½ºÅĵå¿ÀÇÁ È¿°ú Çؼ®À» ÇÔÀ¸·Î½á ¾ð´õÇÊ ¼öÁö¸¦ ±ÕÀÏ ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹üÇÁÀü±Ø ¼³°è·Î µÇ¾î ÀÖ¾î, ¹Ì¼¼ Çø³Ä¨ ½ÇÀåÀ» ³ôÀº Á¢¼Ó ½Å·Ú¼ºÀ¸·Î ½ÇÇöÇÒ ¼ö Àִ Ư¡À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.

¡á Cu-fulled stacked via¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Ãø¸éÀü±Ø
±×¸² 7Àº 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ» ±¸¼ºÇÏ´Â ÀûÃþ±âÆÇ ³¡ºÎºÐ¿¡ ¹èÄ¡ÇÑ Ãø¸éÀü±ØÀÇ ¼³°è °³¿äÀÌ´Ù. 11.5mm×5.2mmÀÇ ÀûÃþ±âÆÇ ³¡ºÎºÐ¿¡ 150¥ìm×675¥ìmÀÇ Ãø¸éÀü±ØÀ» 300¥ìm ÇÇÄ¡·Î ÁýÁß ¹èÄ¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. Ãø¸éÀü±ØÀº ÄÚ¾î ±âÆÇ»ó¿¡ Çü¼ºÇÑ Á¦1¹è¼±Ãþ(M1, t=20¥ìm)À§¿¡ 100¥ìm×400¥ìmÀÇ °³±¸¸¦ °¡Áø Àý¿¬Ãþ(t=10¥ìm)À» ¹èÄ¡ÇÑ ÈÄ¿¡, Á¦2¹è¼±Ãþ(M2, t=20¥ìm)À» ÀûÃþÇÏ´Â Cu-filled stacked via ±¸Á¶·Î ½ÇÇöÇÏ°í ÀÖ´Ù. ´õ±¸³ª, Àý¿¬ÃþÀÇ °³±¸ºÎ¿Í M2 ¹è¼±Ãþ»óÀÇ ¿À¸ñºÎºÐ¿¡´Â Cu°¡ ÃæÀüµÇ¾î Cu-filled stacked via ±¸Á¶ Àüü¸¦ ÆòźȭÇÏ°í ÀÖ´Ù. µû¶ó¼­, ±×¸² 7¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, 100¥ìm×400¥ìm °³±¸ºÎ¿¡ À־ÀÇ M2/M1 ¹è¼±Æø(°¢ 150¥ìm)°ú °¢ ¹è¼±Ãþ ¸·µÎ²²ÀÇ ÃÑÇÕ 50¥ìm°¡ Ãø¸éÀü±ØÀ¸·Î¼­ÀÇ ½ÇÈ¿ÀûÀÎ À¯È¿ ¿µ¿ªÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù.
ÀÌ Cu-filled stacked via¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Ãø¸éÀü±ØÀÇ Çü¼º¹æ¹ýÀº ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±ÀÇ ¼ÒÁ¤ ¿µ¿ªÀÇ ¸·µÎ²²¸¦ ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î µÎ²®°Ô ÇÏ¿©, 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï Ãø¸é¿¡ ³ëÃâ½ÃÅ°´Â ¹è¼±À» °íÁ¾È¾ºñÀÇ Ãø¸éÀü±ØÀ¸·Î ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ̹ǷÎ, Áö±Ý±îÁö Ãø¸éÀü±ØÀÇ ¹è¼± Çü¼º¹æ¹ýÀ¸·Î ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿Â ¼­ºê½ºÆ®·¢Æ¼ºê¹ý°ú ºñ±³ÇÏ¿© ¹è¼±ÀÇ ¹Ì¼¼È­°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. ´õ±¸³ª, ¹è¼± ¸·µÎ²²¸¦ ÀüüÀûÀ¸·Î µÎ²®°Ô ÇÏ´Â additive¹ý°ú ºñ±³ÇÏ¿© ´ÙÃþ¹è¼±Ãþ°£ÀÇ ´Ü¶ô¹æÁö°¡ ¿ëÀÌÇÏ´Ù. ƯÈ÷, ±âÆÇ ³¡ºÎºÐ¿¡ Çü¼ºÇÑ Cufilled stacked via´Â ÄÚ¾î ±âÆÇ»ó¿¡ Á÷Á¢ ¹èÄ¡ÇÏ´Â °ß°íÇÑ ±¸Á¶À̹ǷÎ, Ãø¸éÀü±ØÀ» ÀûÃþ¹æÇâÀ¸·Î Á¢¼ÓÇÏ´Â ¹è¼±±âÆÇ°úÀÇ »çÀÌ¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â ¹üÇÁ ÀÀ·Â ¿Ö°îÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î ¿ÏÈ­½Ãų ¼ö Àִ Ư¡À» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.

¡á °íÁ¤¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀå ÇÁ·Î¼¼½º
3Â÷¿ø ½ÇÀå ÇÁ·Î¼¼½º¿¡¼­´Â Ãø¸éÀü±ØÀÇ »ó´ëÀûÀÎ À§Ä¡¸ÂÃã Á¤¹Ðµµ¸¦ Çâ»ó½ÃÅ°±â À§ÇÏ¿©, ´Ù¸é ¹èÄ¡ÇÑ ÀûÃþ±âÆÇÀ» ÀÏ°ý ÀûÃþÇÑ ÈÄ¿¡ °³º°ÀÇ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ¸·Î ºÐÇÒÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇß´Ù. ±×¸² 8Àº ±×¸² 7¿¡ ³ªÅ¸³½ ÀûÃþ±âÆÇÀ» ´Ù¸é ¹èÄ¡ÇÑ ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇÀÇ °³¿äÀÌ´Ù. 11.5mm×5.2mmÀÇ GA, V-driver ÀûÃþ±âÆÇ°ú CDS/AD ÀûÃþ±âÆÇÀ» °¢°¢ 2×4 ´Ù¸é ¹èÄ¡ÇÏ¿© 28mm×28mmÀÇ ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇÀ» ±¸¼ºÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ 2×4 ´Ù¸é ¹èÄ¡ ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇÀº Cu-filled stacked via¿¡ ÀÇÇØ Çü¼ºµÇ´Â Ãø¸éÀü±ØÀÌ µÇ´Â °íÁ¾È¾ºñ Cu ¹è¼±ÀÇ ¸·µÎ²² ¿ÀÂ÷¸¦ ³·Ãß±â À§ÇØ ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇÀÌ ¿©·¯ °³ ·¹À̾ƿôµÈ ´ëÇü ±âÆÇÀ¸·ÎºÎÅÍ ºÐÇÒ ÃßÃâÇÏ°í ÀÖ´Ù.

±×¸² 9´Â ±×¸² 8¿¡ ³ªÅ¸³½ ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇÀ» ÀÏ°ý ÀûÃþÇÏ¿© 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ¸·Î ÇÏ´Â °íÁ¤¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀå ÇÁ·Î¼¼½º ±×¸²ÀÌ´Ù. LSI µð¹ÙÀ̽º(GA, CDS/AD, V-driver)¿Í ¼öµ¿ Ĩ ºÎÇ°ÀÌ Å¾ÀçµÈ GA, V-driver ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇ°ú CDS/AD ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇÀÇ À§Ä¡¸¦ ¸ÂÃß°í, ÀûÃþ±âÆÇ°£ÀÇ Æ´»õ¿Í Àüü¸¦ ¿¡Æø½Ã ¼öÁö·Î ¼öÁö ºÀÁöÇÑ ´ÙÀ½, °³º°ÀûÀ¸·Î ºÐÇÒÇÏ¿© 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ¸·Î ÇÑ´Ù. ºÀÁö¼öÁö´Â 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï¿¡ ¹ß»ýÇÏ´Â ÀÀ·Â ¿Ö°îÀÌ LSI µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¹üÇÁÀü±Ø ÀÀ·Â¿Ö°î¿¡ ÁÖ´Â ¿µÇâÀ» Àú°¨Çϱâ Çϱâ À§ÇØ, LSI µð¹ÙÀ̽º¸¦ ºÀÁöÇÏ´Â ¾ð´õÇÊ ¼öÁö¿Í µ¿ÀÏ Àç·á¸¦ »ç¿ëÇß´Ù. ±×¸² 9¿¡ À־, ÀûÃþ±âÆÇ°£ ÆòÇà¹æÇâÀÇ À§Ä¡¸ÂÃãÀº ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇ¿¡ ¹èÄ¡ÇÑ À§Ä¡¸ÂÃã ÆÐÅÏÀ¸·Î ÇÏ°í, ÀûÃþ¹æÇâÀÇ À§Ä¡¸ÂÃãÀº ½Ç¸®ÄÜ ½ºÆäÀ̼­ ºí·Ï(1.55mm)À» ºÀÁö¼öÁö ³»¿¡ ¹èÄ¡ÇÏ¿© ½Ç½ÃÇß´Ù.

°í¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ ½ÃÁ¦

¡á 3Â÷¿ø ÀûÃþ±âÆÇÀÇ ¿Ü°ü
±×¸² 10Àº CuÄÚ¾îÇü ¹üÇÁÀü±ØÀ» Çü¼ºÇÑ LSI µð¹ÙÀ̽º¿Í ¼öµ¿ Ĩ ºÎÇ°À» ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇ»ó¿¡ ½ÇÀåÇÔÀ¸·Î½á CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£ Àü¼Ûȸ·Î¿Í CCD ±¸µ¿½ÅÈ£ Á¦¾îȸ·Î¸¦ ±¸¼ºÇÑ GA, V-driver ÀûÃþ±âÆÇ°ú CDS/AD ÀûÃþ±âÆÇÀÇ ¿Ü°üÀ» ³ªÅ¸³½ Çö¹Ì°æ »çÁøÀÌ´Ù. žÀçµÈ LSI µð¹ÙÀ̽º(GA, V-driver, CDS/AD)¿Í ¼öµ¿ Ĩ ºÎÇ°Àº 1¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹Ù¿Í °°´Ù. »çÁø¿¡¼­, GA, V-driver, CDS/AD, ¼öµ¿ Ĩ ºÎÇ°ÀÌ ¿ÜÇüÄ¡¼ö 11.5mm×5.2mmÀÇ ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇ»ó¿¡ °í¹Ðµµ ½ÇÀåµÇ°í, ±âÆÇ ³¡ºÎºÐ¿¡´Â Ãø¸éÀü±ØÀÌ µÇ´Â Cu ¹è¼±ÀÌ ÁýÁß ¹èÄ¡µÇ¾î ÀÖ´Â °ÍÀ» ¼ö ÀÖ´Ù.

¡á 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ ¿Ü°ü
±×¸² 11Àº ±×¸² 9¿¡ ³ªÅ¸³½ °íÁ¤¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀå ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ½ÃÁ¦ÇÑ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ ¿Ü°ü »çÁøÀÌ´Ù. ±×¸² 9¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, GA, V-drivcr ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇ°ú CDS/AD ÀûÃþ À¯´Ö±âÆÇÀ» 3Â÷¿ø ½ÇÀåÇÏ°í ¼öÁö ºÀÁöÇÑ ´ÙÀ½, °³º°ÀÇ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï(5.2mm×4.4mm×11.5mm)À¸·Î ºÐÇÒÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀûÃþ±âÆÇÀÇ ³»ºÎ¿¡ ¹èÄ¡µÈ Cu-filled stacked via¸¦ ³ëÃâ½ÃÄÑ Ãø¸éÀü±ØÀ¸·Î ÇÏ´Â 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ ºÐÇÒ¿¡´Â 0.5¥ìmÀÇ Diamond powder¸¦ Ư¼ö ±Ý¼Ó º»µå·Î ¼ºÇüÇÑ ÃÊ±Ø¹Ú ºê·¹À̵å(50¥ìm µÎ²²)¸¦ »ç¿ëÇß´Ù. »çÁø¿¡¼­, 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï Ãø¸é¿¡´Â Cu-filled stacked via¸¦ ³ëÃâ½ÃŲ Cu Ãø¸éÀü±ØÀÌ ¾çÈ£ÇÑ Á¤¹Ðµµ·Î ³ëÃâµÇ¾î ÀÖ´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.

¡á 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ Ãø¸éÀü±Ø
±×¸² 12´Â ±×¸² 11¿¡ ³ªÅ¸³½ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ Ãø¸é »çÁø°ú ±×¸² 10¿¡ ³ªÅ¸³½ ÀûÃþ±âÆÇÀÇ Cu-filled stacked via ºÎºÐ¿¡ À־ÀÇ ´Ü¸éÀ» ³ªÅ¸³½ Çö¹Ì°æ »çÁøÀÌ´Ù. ±×¸² 12¿¡ ³ªÅ¸³½ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, ¿ÜÇüÄ¡¼ö 5.2mm×4.4mm×11.5mmÀÇ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï Ãø¸é(11.5mm×4.4mm)¿¡´Â Cu-filled stacked viaÀÇ ³ëÃâÇÑ Cu Ãø¸éÀü±ØÀÌ 300¥ìm ÇÇÄ¡·Î 3¿­ ¹èÄ¡µÇ¾î ÀÖ´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ´õ±¸³ª, Ãø¸éÀü±ØºÎÀÇ È®´ë »çÁø¿¡¼­ ¾Ë ¼ö ÀÖµíÀÌ, Cu Ãø¸éÀü±ØÀº Cu-filled stacked via¿¡ ÀÇÇØ 50¥ìmÀÇ Cu ¹è¼±ÀÌ °íÁ¤¹Ðµµ·Î Çü¼ºµÇ¾î ÀÖ´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ »çÁø¿¡ ³ªÅ¸³½ Ãø¸éÀü±ØÀÇ À§Ä¡¸ÂÃã Á¤¹Ðµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ °á°ú, ÀûÃþ±âÆÇÀ» °³º°ÀûÀ¸·Î ÀûÃþÇÏ´Â °æ¿ì´Â ±250¥ìm¿´´ø À§Ä¡¸ÂÃã ¿ÀÂ÷¸¦, ±×¸² 9¿¡ ³ªÅ¸³½ ÇÁ·Î¼¼½º¿¡¼­´Â ±20¥ìm±îÁö °¨¼Ò½Ãų ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. °ªÀº Ãø¸éÀü±ØÀÌ 300¥ìm ÇÇÄ¡·Î ¼³°èµÇ¾î ÀÖ´Â 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ ÀûÃþ¹æÇâÀ» Á¢¼ÓÇÏ´Â ¹è¼±±âÆÇÀÌ µÇ´Â FPCB(Flexible Printed Circuit Board)»ó¿¡ ½ÇÀåÇϴµ¥´Â ÃæºÐÈ÷ °íÁ¤¹ÐÀÇ °ªÀÌ´Ù.

¡á 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ Àü±âƯ¼º Æò°¡
3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ Àü±âƯ¼º Æò°¡´Â Ãø¸éÀü±Ø¿¡ ´ëÇÑ ´ÙÀÌ¿Àµå Ư¼ºÆò°¡¿Í 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï CCD Ãâ·ÂÀÇ ÃÔ»ó½ÅÈ£ Ư¼ºÀ» Æò°¡Çß´Ù. ´ÙÀÌ¿Àµå Ư¼ºÆò°¡´Â LSI µð¹ÙÀ̽º»óÀÇ º¸È£ ´ÙÀÌ¿ÀµåÀÇ ON Àü¾ÐÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿©, ÀûÃþ±âÆÇ¿¡ žÀçÇÑ LSI µð¹ÙÀ̽º»óÀÇ ¹üÇÁÀü±ØÀÇ Open/Short¸¦ ÃøÁ¤ÇÑ´Ù. CCD Ãâ·ÂÀÇ ÃÔ»ó½ÅÈ£ Ư¼ºÆò°¡´Â Gray-scale-chart¿Í Color-bar-chart¸¦ ÃÔ»óÇÑ CCD Ä«¸Þ¶ó·ÎºÎÅÍÀÇ ¾Æ³¯·Î±× ½ÅÈ£Ãâ·ÂÀ» ¿À½Ç·Î½ºÄÚÇÁ·Î °üÃøÇÏ¿© °¢ ChartÀÇ ÈÖµµ½ÅÈ£¿Í »ö½ÅÈ£¸¦ È®ÀÎÇÑ´Ù. µû¶ó¼­, 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï CCD Ãâ·ÂÀÇ ÃÔ»ó½ÅÈ£ Ư¼ºÆò°¡´Â ´ÙÀÌ¿Àµå Ư¼ºÆò°¡¿¡ ÀÇÇØ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·Ï ³»ºÎÀÇ Open/Short¸¦ È®ÀÎÇÑ ÈÄ¿¡ ½Ç½ÃÇß´Ù.
±×¸² 13Àº 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀÇ Àü±âƯ¼º Æò°¡°á°úÀÌ´Ù. Gray-scale-chart´Â ÃÔ»ó½ÃÀÇ 1H ¼ÒÀνð£ÀÇ ÆÄÇü »çÁøÀÌ´Ù. ÇÇ»çü ±×´ë·ÎÀÇ °è´Ü¸ð¾çÀÇ °èÁ¶°¡ Ç¥ÇöµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¾çÈ£ÇÑ ÈÖµµÆ¯¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ¾ú´Ù.
¸¶Ä£°¡Áö·Î ÃøÁ¤ÇÑ Color-bar-chart¿¡ ´ëÇؼ­µµ »öÂ÷¼± ¼øÂ÷ÀÇ Æ¯Â¡ÀÎ »ö ij¸®¾î°¡ ¼±¼øÂ÷(±×¸²¿¡¼­´Â ÀÌÁßÀ¸·Î µÇ¾î Ç¥ÇöµÈ´Ù) Ãâ·ÂµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¾çÈ£ÇÑ »ö½ÅÈ£ Ư¼ºÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.

Á¾ ·Ð
¹ßÀü½Ã¼³ÀÇ 10mm¥õ ¹è°ü ³»ºÎ¸¦ ¹«¼± À̵¿ÇÏ´Â °Ë»ç·Îº¿ ¡¸°ü³» ÀÚÁÖȯ°æ ÀνĽýºÅÛ¡¹ÀÇ ¸Ç ³¡ ºÎºÐ¿¡ žÀçµÇ´Â ¡¸¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛ¡¹ÀÇ CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£ Àü¼Ûȸ·Î¿Í CCD ±¸µ¿½ÅÈ£ Á¦¾îȸ·ÎÀÇ °í¹Ðµµ 3Â÷¿ø ½ÇÀå±â¼ú·Î¼­ ÀûÃþ¹æÇâÀÇ ½ÇÀ念¿ªÀ» °í¹ÐµµÈ­ÇÏ´Â 3Â÷¿ø Ãø¸é¹è¼± ½ÇÀå±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÀûÃþ±âÆÇÀÇ ³¡ºÎºÐ¿¡ ȸ·Î¹è¼±À» ³ëÃâ½ÃÄÑ Çü¼ºÇÏ´Â Ãø¸éÀü±ØÀº Cu-filled stacked via¸¦ ºôµå¾÷ ´ÙÃþ¹è¼±±âÆÇÀÇ ÄÚ¾î ±âÆÇ»ó¿¡ Á÷Á¢ ¹èÄ¡ÇÏ´Â ¼³°è¿¡ ÀÇÇØ, °íÁ¾È¾ºñÀÇ Àü±Ø±¸Á¶¸¦ ½ÇÇöÇß´Ù. ÀûÃþ±âÆÇÀÇ À§Ä¡¸ÂÃã¿¡´Â ´Ù¸é¹èÄ¡ÇÑ ÀûÃþ±âÆÇÀ» ÀÏ°ý ÀûÃþÇÑ ÈÄ¿¡, °³º°ÀÇ 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ¸·Î ºÐÇÒÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÔÀ¸·Î¾¾ Ãø¸é¹æÇâÀÇ À§Ä¡¸ÂÃã Á¤¹Ðµµ¸¦ Çâ»ó½ÃÄ×´Ù. ÀÌ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¸¶ÀÌÅ©·ÎÄ«¸Þ¶ó ½Ã°¢½Ã½ºÅÛ¿¡ À־ÀÇ CCD ÃÔ»ó½ÅÈ£ Àü¼Ûȸ·Î¿Í CCD ±¸µ¿½ÅÈ£ Á¦¾îȸ·Î¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â 3Â÷¿ø ½ÇÀåºí·ÏÀ» ½ÃÁ¦ÇÑ °á°ú, ¾çÈ£ÇÑ CCD Ãâ·Â½ÅÈ£¸¦ È®ÀÎÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ¾î, º» ±â¼úÀÌ ½ÇÀå¸éÀûÀ» ¾ÆÁÖ °í¹ÐµµÈ­ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â À¯È¿¼ºÀÌ ³ô´Ù´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù.
 

 

Copyright © 1998 ±¹Á¦Å×Å©³ëÁ¤º¸¿¬±¸¼Ò- All Rights Reserved.
ÀúÀÛ±ÇÀº ±¹Á¦Å×Å©³ëÁ¤º¸¿¬±¸¼Ò¿Í ÄÁÅÙÃ÷ Á¦°øÀÚ¿¡°Ô ÀÖÀ¸¸ç, ¹«´Üº¹Á¦¸¦ ÀÏü ±ÝÇÕ´Ï´Ù.